3、所有气体管路的连接为无缝自动焊接。连接到阀门或调节装置时,才可以使用压力配件。 4、工作台上气体出口由单独的阀门来控制 5、气体管路要有明确表标示,泉州泄漏检测,同时指示气体的流向。
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实验室气路验收要点 1、零部件数量是否符合合同约定的。
2、所有连接点是否安全固定。
3、管道布局是否合理美观。
4、气体标头粘贴是否正确美观。
5、管道连接是否正确。
6、整个系统进行水、氧、颗粒度、---检漏、气密性,x射线 六项测试。
3.大宗特气供气系统 ---供气系统主要针对---量产的8-12英寸(1英寸=25.4毫米)---规模集成电路厂(气体种类包括sih4、n2o、2、 c2f6、 nh3等),100mw以上的太阳能电池生产线(气体种类包括nh3),发光二极管的磊晶工序线(气体种类包括nh3)、5代以上液晶显示器工厂(气体种类包括sih4、cl2、nh3、nf3)等、光纤(气体种类包括sicl4)、硅材料外延生产线(气体种类包括hcl)等行业。它们的投资规模---,采用---的工艺制程设备,用气需求量大,对稳定和不间---应、纯度控制和安全生产提出严格的要求。
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