高纯供气系统功能: 可实现自动切换,自动氮气吹扫,自动真空辅助放空;多重安全防护措施,泄漏侦测,远程紧急切断;氮气吹扫起源等等。 高纯供气系统设计 1.材料的选择 特气管路系统普遍采用316l不锈钢电解抛光(ep)管道,漳州爱德华真空泵,阀门一般采用高纯调压阀、隔膜阀、高精密过滤器、(<0.003微米)、vcr接头等。接触气体的管路部件表面粗糙度可控制在5uin。对于某些高腐蚀性的气体如cl2等,采用经过特殊处理的耐腐蚀强的ep管 。
6、气体管路的支架要求耐腐蚀,爱德华真空泵维修,可以采用不锈钢或其他合适的工程塑料等制作。 7、气体管路就需要有支架。另外根据气体管路弯曲的直径,设置合适的支架位置。 8、特气管道需与其他管道分开单独引入,氢气管道与其他管道同架铺设时间隔少0.25m,切应在其他管道上方。 9、其他标准要求则需根据实验室具体结构制定。
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