3、辅助系统的设计 气体柜或控制面板在安装和运输的过程中由于搬运和震动,阀门、接头、过滤器等的更换、或其他原因、需要对其重新进行高压气密性试验和---检,气体的置换也需要用到高压氮气或---气,所以特气柜需设计接入高压惰性气体---气或氮气。一般选择在特气房设置一台或多台惰性气体柜。
2.主管路系统的设计 在确定好气体房和用气点以后,主管路系统一般遵循管道线路短,拐弯少,布置紧凑合理,给人简单美观的感觉。输送系统的数量和管径的大小一般根据机台用气点的多少和流量大小确定,基本都采用小管径输送(1/4-3/4)而且多设计了备用系统。由于气体本身的危险性,许多地方采用把管道铺设在电缆桥架里,对于穿墙或穿过夹道的地方,周围有危险源和经常有危险作业的地方,露天的地方管道一般布置在全封闭的桥架里。
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