高纯供气系统施工 高纯气体管道的施工采用全自动轨道焊接,同时制定和实施严格的纯施工和qa/qc---程序,对施工的和程序进行严格的监控和管理。整个系统还要进行---检漏、水分、氧分和颗粒度检测、以及其他要求做的气相杂质的测试。 1.施工管理和现场施工的几个注意点 项目管理人员和施工人员都要进行施工安全和施工的培训,了解特种管道的施工作业要求和规范,了解高纯气体的基本知识,从而加深对特种管道施工重要性的认识。
3.大宗特气供气系统 ---供气系统主要针对---量产的8-12英寸(1英寸=25.4毫米)---规模集成电路厂(气体种类包括sih4、n2o、2、 c2f6、 nh3等),100mw以上的太阳能电池生产线(气体种类包括nh3),发光二极管的磊晶工序线(气体种类包括nh3)、5代以上液晶显示器工厂(气体种类包括sih4、cl2、nh3、nf3)等、光纤(气体种类包括sicl4)、硅材料外延生产线(气体种类包括hcl)等行业。它们的投资规模---,采用---的工艺制程设备,用气需求量大,对稳定和不间---应、纯度控制和安全生产提出严格的要求。

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