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高纯气体系统种类:
简单供气系统
简单供气系统主要针对4英寸及以下半导体芯片厂、半导体材料的科研机构以及一些单台的工艺设备等。它们的制程简单,通常不需要连续性供气,对气体供应系统的投资预算低。

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本文研究了埋地热力管道周围温度场分布情况,在此基础进一步分析了埋地热力管道泄漏情况下的周围大地温度场分布情况,并通过泄漏点周围大地温度场的变化情况来判断泄漏影响半径。 本文在计算埋地热力管道周围土壤温度场及泄漏情况的温度场的时候均采用了有限元的计算方法,采用ansys大型有限元工程分析软件进行数值仿分析,哪里可以维修厦门分子泵维修维修保养,计算的规律分布与实际测量温度场分布比较吻合,具有一定的确性和---性,能够反映实际情况。

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2.主管路系统的设计
在确定好气体房和用气点以后,主管路系统一般遵循管道线路短,拐弯少,布置紧凑合理,给人简单美观的感觉。输送系统的数量和管径的大小一般根据机台用气点的多少和流量大小确定,基本都采用小管径输送(1/4-3/4)而且多设计了备用系统。由于气体本身的危险性,许多地方采用把管道铺设在电缆桥架里,对于穿墙或穿过夹道的地方,周围有危险源和经常有危险作业的地方,露天的地方管道一般布置在全封闭的桥架里。

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