离子传输泵:它是将被电离的气体在电磁场或电场的作用下,输送到出口的一种动量传输泵。气体捕集泵这种泵是一种是气体分子被吸附或凝结在泵的内表面上,从而减小了容器内的气体分子数目而达到抽气目的的真空泵,有以下几种型式。
这种结构装配间隙容易控制,转子装配方便,泵占地面积小。但泵较高且齿轮拆装不便,润滑机构也相对复杂。(2)泵的传动方式真空泵的两个转子是通过一对---齿轮来实现其相对同步运转的。主动轴通过联轴器与电机联接。
气体分子作用于容器壁的单位面积上的力,igx100l半导体真空泵维修,用“p”表示。标准---压压强为每平方厘米101325达因的气压,符号:(atm)。---真空真空容器经充分抽气后,稳定在某一真空度,此真空度称为---真空。通常真空容器须经12小时炼气,再经12小时抽真空。
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