气体管路指气瓶至仪器终端之间连接管线,输送气体为实验室仪器(色谱、原子吸收等)用气、高纯气体,永磁变频无油真空泵维修,气体工程可完成各行业实验室气路(气体管路)新建、改建、扩建的交钥匙工程。
3.大宗特气供气系统 ---供气系统主要针对---量产的8-12英寸(1英寸=25.4毫米)---规模集成电路厂(气体种类包括sih4、n2o、2、 c2f6、 nh3等),100mw以上的太阳能电池生产线(气体种类包括nh3),发光二极管的磊晶工序线(气体种类包括nh3)、5代以上液晶显示器工厂(气体种类包括sih4、cl2、nh3、nf3)等、光纤(气体种类包括sicl4)、硅材料外延生产线(气体种类包括hcl)等行业。它们的投资规模---,采用的工艺制程设备,用气需求量大,对稳定和不间---应、纯度控制和安全生产提出严格的要求。

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