龙岩哪里可以维修厦门分子泵维修维修保养-厦门太星机电

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3.大宗特气供气系统

---供气系统主要针对---量产的8-12英寸(1英寸=25.4毫米)---规模集成电路厂(气体种类包括sih4、n2o、2、 c2f6、 nh3等)，100mw以上的太阳能电池生产线(气体种类包括nh3)，发光二极管的磊晶工序线(气体种类包括nh3)、5代以上液晶显示器工厂(气体种类包括sih4、cl2、nh3、nf3)等、光纤(气体种类包括sicl4)、硅材料外延生产线(气体种类包括hcl)等行业。它们的投资规模---，采用的工艺制程设备，用气需求量大，对稳定和不间---应、纯度控制和安全生产提出严格的要求。